GDF9304 型MEMS热式质量流量芯片
简介
GDF9304流量传感芯片是根据热力学原理对流经芯片表面的气体流量进行测量的。所有的焊盘均拉至一侧以便于封装。此外采用低热源电阻，使其可以在低至5V电压下工作，所以芯片功耗低。芯片敏感区域由一个加热电阻和两组热电堆构成，热电堆分布在加热电阻两端作为上游和下游，当有气体流过时，上游热量被带走而冷却，下游有热量输送而被加热，热量分布不再对称，以上下游热电堆的输出电压之差作为传感器的输出，提高了测量精度，降低误差。
产品特征
- 小流量段灵敏度高
- 零点漂移小
- 响应时间快
- 耐振动、压力和热冲击
- 耐流动介质中粉尘颗粒引起的磨损
- 信号调理电路简单
应用领域
- 医学领域：麻醉机，呼吸机，肺活量计，呼吸器，制氧机。
- 空气调节系统(HAVC)
- 汽车发动机中的空气流量传感器